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場發(fā)射掃描電子顯微鏡簡介場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。先進的鏡筒設(shè)計,高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設(shè)計,實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設(shè)計的人機交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無論經(jīng)驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務(wù)。
蔡司Crossbeam 550高分辨率掃描電子顯微鏡 蔡司Crossbeam 550是一款結(jié)合了高分辨率場發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)和新一代聚焦離子束(FIB)的雙束掃描電子顯微鏡。該設(shè)備不僅具備出色的成像和分析性能,還擁有優(yōu)異的加工能力。
掃描電子顯微鏡 國儀量子 高分辨 SEM3300 國儀量子推出的SEM3300是世界上分辨率最高的商用鎢燈絲掃描電子顯微鏡。該顯微鏡具有性價比高、易于維護、操作相對簡單以及對場地要求較小等特點,便于大眾使用。SEM3300在20 kV分辨率達到2.5 nm,比普通鎢燈絲電鏡提高了16%,在任意電壓下都表現(xiàn)出分辨力。
鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM2000 SEM2000是一款基礎(chǔ)款的多功能分析型鎢燈絲掃描電鏡。20?kV分辨率可以做到3.9?nm,支持升級30?kV電壓,可觀察亞微級尺度樣品的微觀結(jié)構(gòu)信息。擁有比臺式電鏡更大的移動范圍,適用于快速篩選待測樣品,更多的擴展接口,可搭載BSED、EDS等附件,使應用領(lǐng)域更廣。
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SEM5000X SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技(SuperTun nel)以及鏡筒工藝升級,實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設(shè)計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴展 應用范圍。
FIB DB500 聚焦離子束電子束 雙束顯微鏡 DB500 擁有自主可控的場發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒, 是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù) (SuperTunnel)、 低像差無漏磁物鏡 設(shè)計, 低電壓高分辨率成像, 保證納米分析能力?!俺杏啊?離子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源, 擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流, 保證納米加工能力。